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襯底

半導體材料 - 襯底

襯底,分為繪圖襯底,和化工學襯底兩種。繪圖襯底指的是將圖片或文字充滿整個版面使其為底紋?;W襯底最常見的為氮化物襯底材料等。
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硅片
英寸 直徑/mm 拋面 摻雜 晶向 電阻/Ω.cm 厚度/um
2寸 50.8±0.5 雙拋
單拋
P/N 100 1-20 200-500
3寸 76 雙拋
單拋
P/B 100 NA 525±20
4寸 100±0.2 雙拋
單拋
P/N 100 0.001-10 200-2000
100±0.3
100±0.4
6寸 150±0.3 單拋
雙拋
P/N 100 1-10 500-650
8寸 200±0.3 單拋
雙拋
P/N 100 0.1-20 625

玻璃片
英寸 直徑/mm 拋面 厚度 備注
4寸 100±0.3 雙拋 500±10 BF33
6寸 150±0.3 雙拋 300,500

BF33玻璃片
硅片

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